主從動(dòng)轉子間有3個(gè)間隙，分別是主從動(dòng)轉子齒頂與齒底之間形成的徑向間隙、主從動(dòng)轉子相互嚙合的斜齒面之間形成的間隙，以及主從動(dòng)轉子相互嚙合的凹齒面之間形成的間隙。然后就是主從動(dòng)轉子齒頂與泵腔內壁之間形成的周向間隙。

在抽氣過(guò)程中，從進(jìn)氣口到排氣口，壓力逐漸升高；因為這些返流間隙，被抽氣體會(huì )通過(guò)它們，從排氣口高壓側向進(jìn)氣口低壓側反向流動(dòng)，形成返流，進(jìn)而影響到螺桿鼓風(fēng)機的抽速與真空度。螺桿鼓風(fēng)機在設計制造過(guò)程中，如果這個(gè)返流量控制得越小，那真空泵的實(shí)際抽速就越大，所能達到的極限真空度也就越高；反之，抽速與真空度都會(huì )變差。

在這些間隙中，主從動(dòng)轉子與泵腔內壁之間的周向間隙大小變化，對返流的影響最為明顯（由此形成的泄漏通道面積占總泄漏面積的70%以上）。而主從動(dòng)轉子之間的徑向間隙、凹齒面間隙及斜齒面間隙變化則對返流的影響則要遠遠小得多。因此，螺桿鼓風(fēng)機設計生產(chǎn)及裝配中，需要更嚴格地控制轉子與泵腔內壁之間的間隙。

具體的轉子間隙設置中，間隙越大，返流越嚴重；間隙越小，返流越少。但并不是說(shuō)，間隙就越小越好。一方面受泵腔內溫升影響，轉子會(huì )出現熱脹冷縮的情況；同時(shí)，常見(jiàn)的轉子間隙從0.5mm減少到0.3mm時(shí)，返流會(huì )大幅減少，但從0.3mm到0.2mm，這種減少就會(huì )變緩，再到0.1mm，變化就更加細微了。因此需要考慮到這些方面，以及加工上的限制，而不是一味地求小。